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產品介紹

FPD準分子雷射退火機

適用於高階LCD,OLED以及新世代顯示器micro-LED產品所誕生的準分子退火設備。
在面板技術不斷的進步之下,對於導電率的要求越來越高。低溫多晶矽(LTPS)一直是目前對於製造高階面板所需要的一道製程技術。本公司的準分子雷射退火裝備,可以提供相當優良的、穩定的且可靠的退火技術。
台灣也有資深優良的團隊可以提供優質的售後服務。

準分子雷射退火設備 (ELA)
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